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标题
Critical advances in fluorine-plasma-resistant ceramic coatings for semiconductor process chambers: A review
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.surfin.2026.110535
DOI
10.1016/j.surfin.2026.110535 doi
其它 期刊：Surfaces and Interfaces
作者：Haoyu Li; Jie Yang; Peng Zhang; Yicheng Wang; Yan Xing
出版日期：2026-10-01
求助人
LXC 在 2026-10-19 19:53:22 发布自上海，悬赏 10 积分
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