Air stable La2O3-Al2O3 composite films grown by atomic layer deposition for plasma etch resistance

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标题	Air stable La2O3-Al2O3 composite films grown by atomic layer deposition for plasma etch resistance
网址	http://dx.doi.org/10.1016/j.apsusc.2026.167348
DOI	10.1016/j.apsusc.2026.167348 doi
其它	期刊：Applied Surface Science 作者：Yumo Tian; Xianhaoyan Chen; Linyang Li; Chao Shi; Kuanlin Chen; et al 出版日期：2026-10-01
求助人	九思在 2026-11-05 16:35:47 发布自江苏，悬赏 10 积分
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