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 Fabrication of High Entropy Nitride Coatings via Peak Current Optimization in High Power Impulse Magnetron Sputtering 相关领域
材料科学
高功率脉冲磁控溅射
制作
溅射沉积
氮化物
脉冲（物理）
溅射
腔磁控管
物理气相沉积
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期刊：Advanced Engineering Materials 作者：Xiaolong Lu; Yan Lu; Xiao Zhang; Zhen Yan; Junying Hao; et al 出版日期：2025-08-25 |
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