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标题
Use of an auxiliary electrode to control plasma properties at the wafer edge in inductively coupled plasmas with a substrate bias
网址
https://pubs.aip.org/avs/jva/article-abstract/43/6/063001/33...
DOI
10.1116/6.0004847 doi
求助人
future 在 2026-08-21 15:12:40 发布自上海，悬赏 10 积分
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