Influence of different etching mechanisms on the angular dependence of silicon nitride etching

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标题	Influence of different etching mechanisms on the angular dependence of silicon nitride etching
网址	https://doi.org/10.1116/1.578497
DOI	10.1116/1.578497 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：A. M. Barklund; Hans‐Olof Blom 出版日期：1993-07-01
求助人	Atlantis 在 2026-09-15 15:34:45 发布自上海，悬赏 10 积分
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