Autonomous hybrid optimization of a SiO2 plasma etching mechanism

已完结

文献求助详情

标题	Autonomous hybrid optimization of a SiO2 plasma etching mechanism
网址	https://doi.org/10.1116/6.0003554
DOI	10.1116/6.0003554 doi
其它	期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Florian Krüger; Du Zhang; Pingshan Luan; Minjoon Park; Andrew Metz; et al 出版日期：2024-06-28
求助人	gooster 在 2026-07-22 16:58:51 发布自上海，悬赏 10 积分
下载	该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。

上个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

站在巨人的肩膀上，才更有可能跳的更远

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: ll发布了新的文献求助10

1秒前; 鱼小小完成签到，获得积分10

1秒前; Sincerelove7完成签到，获得积分10

2秒前; Cooper完成签到，获得积分10

2秒前; 无限凤妖上传了应助文件

3秒前; sunzy发布了新的文献求助10

3秒前; 勾勾完成签到，获得积分10

5秒前; PurpleCyan完成签到，获得积分10

5秒前; grace发布了新的文献求助80

5秒前; 思源的应助被豆包daddy采纳，获得10

6秒前; sunzy发布了新的文献求助10

6秒前; sunzy发布了新的文献求助10

6秒前; sunzy发布了新的文献求助10

6秒前; sunzy发布了新的文献求助10

6秒前; sunzy发布了新的文献求助10

7秒前; 共享精神上传了应助文件

7秒前; Jasper上传了应助文件

9秒前; 我要发文章完成签到，获得积分10

9秒前; wanci的应助被单纯灵安采纳，获得10

9秒前; 来都来了完成签到，获得积分10

10秒前; sunzy发布了新的文献求助10

10秒前; sunzy发布了新的文献求助10

10秒前; sunzy发布了新的文献求助10

10秒前; sunzy发布了新的文献求助10

10秒前; sunzy发布了新的文献求助10

10秒前; XX上传了应助文件

10秒前; blackia的应助被delta_pro采纳，获得50

11秒前; 怕黑的凝荷完成签到，获得积分10

11秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

11秒前; JamesPei的应助被Nolan采纳，获得10

12秒前; 小二郎上传了应助文件

13秒前; 斯文败类上传了应助文件

13秒前; 11尹璐力发布了新的文献求助10

13秒前; sunzy发布了新的文献求助10

13秒前; sunzy发布了新的文献求助10

13秒前; sunzy发布了新的文献求助10

13秒前; sunzy发布了新的文献求助10

13秒前; Chan0427发布了新的文献求助10

14秒前; NexusExplorer上传了应助文件

14秒前; 鱼鱼小完成签到，获得积分10

15秒前