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CDSAXS study of 3D NAND channel hole etch pattern edge effects and etched hole pattern variance 三维NAND沟道孔刻蚀图案边缘效应和刻蚀孔图案方差的CDSAXS研究
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期刊: 作者:Jin Zhang; Lü Tian; Ying Gao; Osman Sorkhabi; Yung-Yi Lin; et al 出版日期:2024-02-23 |
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