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 Study on optimizing c-axis oriented AlN thin film for piezoelectric sensing applications controlling the sputtering process parameters 控制溅射工艺参数优化压电传感用c轴取向AlN薄膜研究
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期刊：Applied Physics A 作者：M. Vanamoorthy; Bindu Salim; Kallol Mohanta 出版日期：2021-12-17 |
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