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 Patterning control strategies for minimum edge placement error in logic devices 逻辑器件中最小边缘放置误差的图案化控制策略
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期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Jan Mulkens; M. M. Hanna; Bram Slachter; Wim Tel; Michael Kubis; et al 出版日期：2017-03-28 |
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