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 The Effect of the Process Parameters on the Growth Rate and Composition of the Anti Scratch Films Deposited from TEOS by AP-PECVD on Polycarbonate 相关领域
刮擦
聚碳酸酯
材料科学
等离子体增强化学气相沉积
复合材料
涂层
电介质
薄膜
化学工程
纳米技术
光电子学
工程类
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期刊：Plasma Chemistry and Plasma Processing 作者：Anastasia S. Bil; Sergey Alexandrov 出版日期：2023-04-18 |
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