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标题	Repeatability study of an electrothermally actuated micromirror 电热驱动微镜的重复性研究相关领域重复性材料科学双晶片电压倾斜（摄像机）可靠性（半导体）电阻式触摸屏光电子学光学光开关执行机构电气工程功率（物理）工程类物理机械工程色谱法量子力学化学
网址	http://dx.doi.org/10.1109/IRPS.2009.5173309
DOI	10.1109/IRPS.2009.5173309 doi
求助人	chouchou 在 2025-12-16 12:59:25 发布自陕西，悬赏 10 积分
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