Adhesion assessment of silicon carbide, carbon, and carbon nitride ultrathin overcoats by nanoscratch techniques

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标题	Adhesion assessment of silicon carbide, carbon, and carbon nitride ultrathin overcoats by nanoscratch techniques
网址	https://doi.org/10.1063/1.364551
DOI	10.1063/1.364551 doi
求助人	迪er 在 2026-04-29 16:50:37 发布自陕西，悬赏 10 积分
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