| 标题 |
 Design and fabrication of a differential capacitive three‐axis SOI accelerometer using vertical comb electrodes 相关领域
绝缘体上的硅
电容感应
电容
电极
加速度计
薄脆饼
材料科学
制作
微分电容
加速度
表面微加工
光电子学
体微机械加工
电气工程
硅
物理
工程类
医学
替代医学
病理
量子力学
经典力学
|
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊：IEEJ Transactions on Electrical and Electronic Engineering 作者：Toshiyuki Tsuchiya; Hiroyuki Hamaguchi; Koji Sugano; Osamu Tabata 出版日期：2009-04-22 |
| 求助人 | |
| 下载 | 该求助完结已超 24 小时，文件已从服务器自动删除，无法下载。 |
|
温馨提示：该文献已被科研通 学术中心 收录，前往查看
科研通『学术中心』是文献索引库，收集文献的基本信息（如标题、摘要、期刊、作者、被引量等），不提供下载功能。如需下载文献全文，请通过文献求助获取。
|
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)
Kao
嘻嘻哈哈
Copyright
cdercder
Nole
OK
Oracle
lizishu
Sure
Criminology34
GG
sagitar
行走的荷尔蒙
无情的聪健
arniu2008
GingerF
乐空思
liuzhuohao
清平道人
Samuel
皖公网安备34019202002308
