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 Line width roughness variation and printing failures caused by stochastic effect at extreme-ultraviolet exposure 极紫外曝光下随机效应引起的线宽粗糙度变化与印刷故障
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期刊： 作者：In-Hwa Kang; Tae-Yi Kim; Su‐Mi Hur; Chung-Hyun Ban; Jang-Gun Park; et al 出版日期：2021-02-19 |
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