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标题
Metal Contamination from Process Materials Used in Wet Cleaning of Silicon Wafer
硅片湿法清洗工艺材料的金属污染
相关领域
污染 薄脆饼 材料科学 氢氧化铵 氢氟酸 湿法清洗 金属 冶金 化学 纳米技术 无机化学 有机化学 生态学 生物
网址
DOI
10.1149/1.2193877 doi
其它 期刊:ECS Transactions
作者:Rosa María Luna-Sánchez; Ignacio González-Martínez
出版日期:2006-04-28
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乐乐乐乐乐乐 在 2025-07-29 20:43:09 发布自安徽,悬赏 10 积分
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