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标题
Computational fluid dynamics modeling of spatial atomic layer deposition on microgroove substrates
微槽衬底上空间原子层沉积的计算流体力学模拟
相关领域
图层(电子) 沉积(地质) 材料科学 原子层沉积 纳米技术 地质学 沉积物 古生物学
网址
DOI
10.1016/j.ijheatmasstransfer.2021.121854 doi
其它 期刊:International Journal of Heat and Mass Transfer
作者:Zoushuang Li; Kun Cao; Xiaobo Li; Rong Chen
出版日期:2021-08-23
求助人
aafrr 在 2025-11-26 09:27:04 发布自上海,悬赏 10 积分
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