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标题
Development of new maleimides applied to spin-on carbon hardmask with characteristics of high heat resistance and good planarization
耐热性高、平坦性好的新型马来酰亚胺用于旋涂碳硬掩模的研制
相关领域
化学机械平面化 碳纤维 材料科学 自旋（空气动力学） 纳米技术 图层（电子） 复合材料 物理 热力学 复合数
网址
https://doi.org/10.1117/12.2514909
DOI
10.1117/12.2514909 doi
其它 期刊：
作者：Junya Horiuchi; Takashi Makinoshima; Takashi Sato; Yasushi Miki; Masatoshi Echigo; et al
出版日期：2019-03-25
求助人
无限萤 在 2025-11-20 07:28:17 发布自山东，悬赏 20 积分
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