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标题
Deposition of highly crystalline AlScN thin films using synchronized high-power impulse magnetron sputtering: From combinatorial screening to piezoelectric devices
网址
https://link.aps.org/article/10.1103/PhysRevMaterials.8.0950...
DOI
10.1103/physrevmaterials.8.095001 doi
其它 期刊：Physical Review Materials
作者：Jyotish Patidar; Kerstin Thorwarth; Thorsten Schmitz-Kempen; Roland Kessels; Sebastian Siol
出版日期：2024-09-13
求助人
小HIN 在 2026-10-21 16:44:54 发布自上海，悬赏 10 积分
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  • 12小时前

    小HIN 小HIN Lv4 求助人 发起了本次求助

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