Thermal expansion coefficient of polycrystalline silicon and silicon dioxide thin films at high temperatures

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标题	Thermal expansion coefficient of polycrystalline silicon and silicon dioxide thin films at high temperatures
网址	https://pubs.aip.org/aip/jap/article-pdf/87/9/4189/19169393/...
DOI	10.1063/1.373050 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Haruna Tada; Amy E. Kumpel; Richard E. Lathrop; John B. Slanina; Patricia Nieva; et al 出版日期：2002-07-26
求助人	科研小趴菜在 2026-10-08 10:08:21 发布自江苏，悬赏 10 积分
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