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Quasi-anisotropic wet etching of glass creates inclined microstructures for advanced optical and MEMS devices 相关领域
微电子机械系统
材料科学
制作
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表面微加工
微观结构
干法蚀刻
纳米技术
光电子学
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反应离子刻蚀
体微机械加工
光刻胶
过程(计算)
粘着
平板玻璃
复合材料
光学
阳极连接
扩散
接口(物质)
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(2025-6-4)