| 标题 |
ALD metal-gate/high-κ gate stack for Si and Si/sub 0.7/Ge/sub 0.3/ surface-channel pMOSFETs |
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Electrical Performance of Electrical Packaging (IEEE Cat. No. 03TH8710) 作者:D. Wu; S. Persson; A.-C. Lindgren; G. Sjoblom; P.-E. Hellstrom; et al 出版日期:2004-03-24 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 |
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)