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 Enhanced Ferroelectricity and Reliability in Hf0.5Zr0.5O2 Thin Film via Synergistic Stress-Interface Effects from a W Top Electrode 相关领域
薄膜
可靠性（半导体）
材料科学
铁电性
电极
光电子学
电介质
电子工程
固体物理学
纳米技术
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