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标题
Effect of Boundary Layers on Polycrystalline Silicon Chemical Vapor Deposition in a Trichlorosilane and Hydrogen System
网址
http://dx.doi.org/10.1016/s1004-9541(09)60169-5
DOI
10.1016/s1004-9541(09)60169-5 doi
其它 期刊：Chinese Journal of Chemical Engineering
作者：Pan ZHANG; Weiwen WANG; Guanghui CHENG; Jianlong LI
出版日期：2011-02-01
求助人
危机的冷风 在 2026-08-20 15:02:05 发布自青海，悬赏 10 积分
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