Optimization of resist shrink techniques for contact hole and metal trench ArF lithography at the 90-nm technology node

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标题	Optimization of resist shrink techniques for contact hole and metal trench ArF lithography at the 90-nm technology node
网址	https://www.spiedigitallibrary.org/redirect/proceedings/proc...
DOI	10.1117/12.534610 doi
其它	期刊：SPIE Advanced Lithography 作者：C. Wallace; Jochen Schacht; I. Huang; Ruei-Hung Hsu 出版日期：2004-05-14
求助人	Murphy 在 2026-09-17 17:32:50 发布自河南，悬赏 30 积分
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