Modeling of plasma processing reactors: review and perspective

已完结

文献求助详情

标题	Modeling of plasma processing reactors: review and perspective
网址	https://doi.org/10.1117/1.JMM.22.4.041503
DOI	10.1117/1.JMM.22.4.041503 doi
其它	期刊：Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology 作者：Shahid Rauf; Kallol Bera; Jason Kenney; Prashanth Kothnur 出版日期：2023-11-22
求助人	koman 在 2026-09-01 13:51:13 发布自江苏，悬赏 20 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

科研通，破除各种障碍，优化资源分配，让科研信息充分流通

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: Yucorn完成签到，获得积分10

18秒前; Zhou完成签到，获得积分10

25秒前; 科目三的应助被科研通管家采纳，获得10

31秒前; 科研通管家关闭了1586的文献求助

31秒前; 清脆雅柔完成签到，获得积分10

43秒前; punch完成签到，获得积分10

1分钟前; bao完成签到，获得积分10

1分钟前; 闪闪小凡完成签到，获得积分10

1分钟前; Akim的应助被Atopos采纳，获得10

1分钟前; Akim上传了应助文件

1分钟前; Atopos发布了新的文献求助10

1分钟前; 谦让的沛芹完成签到，获得积分10

2分钟前; loii上传了应助文件

2分钟前; SciGPT的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 科研通AI6.2的应助被科研通管家采纳，获得10

2分钟前; 852的应助被wuyouping采纳，获得30

2分钟前; 年轻的幼菱完成签到，获得积分10

3分钟前; androabo完成签到，获得积分10

3分钟前; loii举报研友_J8DEDL的求助涉嫌违规

3分钟前; loii上传了应助文件

3分钟前; FashionBoy的应助被GODV采纳，获得10

3分钟前; 小李不摆烂完成签到，获得积分10

3分钟前; 明理冰海完成签到，获得积分10

4分钟前; 深情安青的应助被科研通管家采纳，获得10

4分钟前; 万能图书馆上传了应助文件

4分钟前; YY发布了新的文献求助10

4分钟前; YY完成签到，获得积分10

4分钟前; 脑洞疼的应助被王//////采纳，获得10

4分钟前; 852上传了应助文件

4分钟前; 脑洞疼上传了应助文件

4分钟前; wuyouping发布了新的文献求助30

5分钟前; 王//////发布了新的文献求助10

5分钟前; 高高的夏波完成签到，获得积分10

5分钟前; wuyouping完成签到，获得积分20

5分钟前; bkagyin上传了应助文件

5分钟前; 西瓜撞地球完成签到，获得积分10

5分钟前; 西瓜撞地球发布了新的文献求助10

5分钟前; 玩命的紫夏完成签到，获得积分10

5分钟前; lorentzh完成签到，获得积分10

5分钟前; 丘比特的应助被Atopos采纳，获得10

6分钟前