| 标题 |
Active area patterning for CFET: nanosheet etch |
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| DOI |
10.1117/12.3012322
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期刊: 作者:Vincent Brissonneau; Il Gyo Koo; Maryam Hosseini; Dmitry Batuk; A. Veloso; et al 出版日期:2024-04-09 |
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(2025-6-4)