Back-End of Line Compatible Hf0.5Zr0.5O2/ZrO2/Hf0.5Zr0.5O2 Stack Achieving 2Pr of 39.6 μC/cm2 and Endurance Exceeding 1010 Cycles Under Low-Voltage Operation

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标题	Back-End of Line Compatible Hf0.5Zr0.5O2/ZrO2/Hf0.5Zr0.5O2 Stack Achieving 2Pr of 39.6 μC/cm2 and Endurance Exceeding 1010 Cycles Under Low-Voltage Operation 线路兼容Hf0.5Zr 0.5 O2/ZrO2/Hf0.5Zr0.5O2堆叠的后端，在低压操作下实现39.6 μ C/cm2的2Pr和超过1010次循环的耐久性相关领域符号电介质材料科学分析化学（期刊）数学物理算法化学光电子学算术有机化学
网址	https://ieeexplore.ieee.org/document/10373913
DOI	10.1109/LED.2023.3346912 doi
求助人	坤坤在 2024-12-11 15:05:54 发布自河北，悬赏 10 积分
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