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 Preparation of SiO2 Film with High Hardness and Antireflection with AEO AEO法制备高硬度减反射SiO2薄膜
相关领域
材料科学
工程物理
复合材料
冶金
工程类
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| 其它 |
期刊：Silicon 作者：Zhaorui Li; Zhiqiang Li; Yonghong Wu; Wenle Zhu; Lifang Nie; et al 出版日期：2025-01-29 |
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