Surface error effect on reflectivity and focused spot of an EUV tubular mirror machined by ultra-precision diamond turning

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标题	Surface error effect on reflectivity and focused spot of an EUV tubular mirror machined by ultra-precision diamond turning 相关领域极紫外光刻光学材料科学钻石反射率极端紫外线金刚石车削光电子学物理激光器复合材料
网址	http://dx.doi.org/10.1364/ao.529298
DOI	10.1364/ao.529298 doi
求助人	Heidi 在 2025-11-12 11:06:07 发布自黑龙江，悬赏 30 积分
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