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 Bitline etch process development for Advanced process DRAM manufacturing 用于先进工艺DRAM制造的位线蚀刻工艺开发
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期刊： 作者：X. Yao; Li-Tian Xu; Jan-Kun Zhang; Zun-Hua Zhao; Guang Yang; et al 出版日期：2022-06-20 |
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