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标题
Volumetric nondestructive metrology for 3D semiconductor packaging: A review
相关领域
无损检测 计量学 集成电路封装 可靠性(半导体) 包装工程 集成电路 可靠性工程 工程类 计算机科学 系统工程 工程制图 机械工程 电气工程 物理 放射科 功率(物理) 统计 医学 量子力学 数学
网址
DOI
10.1016/j.measurement.2023.114065 doi
其它 期刊:Measurement
作者:Yutai Su; Jing Shi; Yuan-Ming Hsu; Dai-Yan Ji; Alex Suer; et al
出版日期:2023-12-23
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小黑 在 2026-01-04 19:29:29 发布自浙江,悬赏 10 积分
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