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 Damage-Free Cleaning of Advanced Structure Using Timely Energized Bubble Oscillation Megasonic Technology 利用及时激励气泡振荡兆声波技术对先进结构进行无损清洗
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期刊：Diffusion and defect data, solid state data. Part B, Solid state phenomena/Solid state phenomena 作者：David H. Wang; Fu Ping Chen; Xiao Yan Zhang; Xi Wang; Fu Fa Chen; et al 出版日期：2018-08-01 |
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