Achieving high carrier concentration β-Ga2O3 epilayers via MOCVD using SiCl4 as dopant

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标题	Achieving high carrier concentration β-Ga2O3 epilayers via MOCVD using SiCl4 as dopant 相关领域材料科学掺杂剂光电子学兴奋剂金属有机气相外延基质（水族馆）硅透射率电子迁移率化学气相沉积薄板电阻载流子寿命宽禁带半导体电极导电体氧化物纳米技术外延透明导电膜扫描电子显微镜化学工程
网址	https://doi.org/10.1063/5.0304883
DOI	10.1063/5.0304883 doi
其它	期刊：Applied Physics Letters 作者：Yaoping Lu; Zhenni Yang; Titao Li; Duanyang Chen; Hongji Qi; et al 出版日期：2026-01-12
求助人	大国在 2026-01-20 13:41:08 发布自浙江，悬赏 10 积分
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