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 Balancing sensitivity and resolution by feedback regulation of free radicals from Sn-C bonds in tin-oxygen clusters EBL photoresist 相关领域
光刻胶
材料科学
锡
激进的
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氧气
光化学
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工程类
图层（电子）
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期刊：Science China. Materials 作者：Hao Chen; Xinyan Huang; Yingdong Zhao; Jun Zhao; Pengzhong Chen; et al 出版日期：2024-08-22 |
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