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 Inhibition Mechanism of Benzotriazole in Copper Chemical Mechanical Planarization 苯并三唑对铜化学机械平坦化的抑制机理
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化学机械平面化
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期刊：Applied Mechanics and Materials 作者：Jing Li; Xinchun Lu; Zongbo Zhang 出版日期：2014-07-01 |
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