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标题
Effect of Oxide Thickness by Metallic Residue during Radical Oxidation Using Vertical Batch-Type Furnace Equipment on 300-Mm-Diameter Silicon Substrates
网址
https://doi.org/10.1149/ma2022-0215815mtgabs
DOI
10.1149/ma2022-0215815mtgabs doi
其它 期刊：Meeting abstracts
作者：Inkyum Lee; Inkyum Lee
出版日期：2022-10-09
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美好斓 在 2026-08-19 16:48:37 发布自河南，悬赏 10 积分
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