Power supply with arc handling for high peak power magnetron sputtering - 科研通

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标题	Power supply with arc handling for high peak power magnetron sputtering
网址	https://www.semanticscholar.org/paper/d95dd5f5d2cc3c8691bf04...
DOI	10.1116/1.1688365 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science and Technology 作者：D. Christie; F. Tomasel; W. Sproul; D. Carter 出版日期：2004-07-20
求助人	合适夏天在 2026-07-02 17:19:06 发布自北京，悬赏 10 积分
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Taylor & Francis

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