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标题
Low transverse-sensitivity AlScN piezoelectric MEMS accelerometers with perforated diaphragm-island for high-precision vibration monitoring
网址
https://doi.org/10.1016/j.measurement.2025.119890
DOI
10.1016/j.measurement.2025.119890 doi
其它 期刊：Measurement
作者：Anna Li; Yongquan Su; Cheng Zhang; Jiachang Zhang; Hao Huang; et al
出版日期：2026
求助人
Chris03Ray 在 2026-03-24 16:09:14 发布自中国，悬赏 10 积分
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