Improvement of defects and flatness on extreme ultraviolet mask blanks - 科研通

发布文献求助

已完结

文献求助详情

标题	Improvement of defects and flatness on extreme ultraviolet mask blanks
网址	http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.12.2.021008
DOI	10.1117/1.jmm.12.2.021008 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS 作者：Tsutomu Shoki; Masato Ootsuka; Minoru Sakamoto; Tatsuo Asakawa; Ryuuji Sakamato; et al 出版日期：2013-04-01
求助人	yyy 在 2026-09-03 14:07:33 发布自日本，悬赏 20 积分
下载	求助已完成，仅限求助人下载。

上个求助

下个求助

提交工单

该求助已完结，感谢关注

如需该文献，请重新发布求助，前往发布

关注科研痛点，打通你的七经六脉

请遵守相关知识产权规定，勿将文件分享给他人，仅可用于个人研究学习

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 旭东静静发布了新的文献求助10

1秒前; 科研通AI6.2的应助被mingior采纳，获得10

2秒前; 丘比特上传了应助文件

2秒前; 包容的芒果完成签到，获得积分10

2秒前; Owen上传了应助文件

3秒前; pp完成签到，获得积分10

3秒前; qwe完成签到，获得积分10

3秒前; 无奈的梦凡的应助被笨笨善若采纳，获得30

4秒前; dawnstar完成签到，获得积分10

5秒前; ding的应助被背后的小白菜采纳，获得10

5秒前; aaaa的应助被linlinzl采纳，获得30

5秒前; 包容的芒果发布了新的文献求助10

5秒前; chenchen完成签到，获得积分10

6秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

6秒前; 天天向上完成签到，获得积分10

7秒前; 风思雅发布了新的文献求助10

7秒前; 临床医学研究中心发布了新的文献求助10

7秒前; 情怀上传了应助文件

7秒前; 恒河猴完成签到，获得积分20

8秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

8秒前; 小蘑菇上传了应助文件

9秒前; ZZZ关闭了ZZZ的文献求助

10秒前; NexusExplorer上传了应助文件

10秒前; 深情安青上传了应助文件

10秒前; 情怀上传了应助文件

11秒前; 年轻元冬发布了新的文献求助10

12秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

12秒前; 希望天下0贩的0上传了应助文件

13秒前; ding上传了应助文件

13秒前; lipengjiajun发布了新的文献求助10

13秒前; molihuakai上传了应助文件

14秒前; 炙热小土豆发布了新的文献求助10

15秒前; lin关闭了lin的文献求助

15秒前; 哲水圣关闭了哲水圣的文献求助

16秒前; 科研通AI6.4上传了应助文件

16秒前; Gobias完成签到，获得积分10

16秒前; 共享精神的应助被hong采纳，获得10

16秒前; bkagyin上传了应助文件

16秒前; wwww上传了应助文件

17秒前; 科研通管家关闭了自信白萱的文献求助

17秒前

高分求助中: (应助此贴封号)【重要！！请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000; Autoparametric Resonance in Mechanical Systems 1000; Effects of Two Weeks of Red Light Therapy on Choroidal Thickness and Axial Length in Young Adults 700; Cosmos as Art Object: Studies in Plato's Timaeus and Other Dialogues 600; Management and the Arts 510; Matrix Methods in Data Mining and Pattern Recognition Second Edition 510; Rutherford's Vascular Surgery and Endovascular Therapy, 2‑Volume Set, 11th Edition 480

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 7665393; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 9235351; 关于积分的说明 19873180; 捐赠科研通 7234533; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 3283517; 关于科研通互助平台的介绍 2442309; 邀请新用户注册赠送积分活动 2284539

今日热心研友

学术文献互助

无奈的梦凡

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2026 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：821889395【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通