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 Atomic Layer Deposition of Silicon Dioxide Using Aminosilanes Di-sec-butylaminosilane and Bis(tert-butylamino)silane with Ozone |
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期刊：The Journal of Physical Chemistry C 作者：Luis Fabián Peña; Charith E. Nanayakkara; Anupama Mallikarjunan; Haripin Chandra; Manchao Xiao; et al 出版日期：2016-05-04 |
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