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 Local porosity control in magnetron sputtered thin films: Layer design, argon pressure tuning and Kirkendall effect 相关领域
材料科学
柯肯德尔效应
氩
图层（电子）
多孔性
复合材料
溅射沉积
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冶金
薄膜
气体压力
薄层
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扩散
氩气
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期刊：Acta Materialia 作者：Oliver Wipf; Ralph Spolenak 出版日期：2026-03-01 |
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