Metal gate etch-back planarization technology

已关闭

文献求助详情

标题	Metal gate etch-back planarization technology
网址	https://doi.org/10.1088/1674-4926/33/3/036001
DOI	10.1088/1674-4926/33/3/036001 doi
其它	期刊：Journal of Semiconductors 作者：Lingkuan Meng; Huaxiang Yin; Dapeng Chen; Tianchun Ye 出版日期：2012
求助人	木风落在 2026-06-01 14:52:06 发布自北京，悬赏 10 积分
下载

Society for Industrial and Applied Mathematics (SIAM)

上个求助

下个求助

提交工单

求助 / 应助时间线

3个月前，求助关闭

木风落 Lv5 求助人关闭了本次求助。

说明在站内Sci-hub上找到了【积分已退回】
3个月前

木风落 Lv5 求助人驳回了科研通AI6.2 上传的文件

说明
经过查看，此文章不是该DOI的文章，标题、作者、内容均与所提交的不符
3个月前

科研通AI6.2 机器人Lv12 上传了文件

已驳回 036001.pdf (543.49 KB)

温馨提示：本文件中的下载单位、IP等隐私信息已被删除。如有遗漏，请提交工单反馈。
3个月前

木风落 Lv5 求助人发起了本次求助

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

⚡ 2026年影响因子、分区 已更新！ (2026-6-17)

更新

📰 新增『新锐期刊分区』 (2026-3-24)

更新

💬 新增更精细的自定义提醒设置 (2026-1-4)

新增

🕒 每天60秒读懂世界·精选全球要闻 (2026-1-2)

新增

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 欣慰碧彤上传了应助文件

刚刚; 111发布了新的文献求助10

1秒前; 大个上传了应助文件

1秒前; 研友_VZG7GZ上传了应助文件

1秒前; 包寄翠完成签到，获得积分10

2秒前; 裴浩男发布了新的文献求助20

2秒前; 李爱国的应助被不止到么采纳，获得10

2秒前; ethely完成签到，获得积分10

3秒前; 念l完成签到，获得积分10

3秒前; 刘龙上传了应助文件

4秒前; 东起欧发布了新的文献求助10

4秒前; 田様上传了应助文件

4秒前; idiot发布了新的文献求助10

4秒前; yuyuyu发布了新的文献求助10

4秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

5秒前; 木雨超发布了新的文献求助10

5秒前; 君为臣纲发布了新的文献求助10

5秒前; 科研通AI6.2上传了应助文件

5秒前; icerell完成签到，获得积分0

6秒前; 充电宝上传了应助文件

6秒前; 乐乐完成签到，获得积分10

6秒前; 大个的应助被夏阳采纳，获得10

6秒前; thomasan关注了科研通微信公众号

6秒前; 酷波er上传了应助文件

6秒前; 温婉的康乃馨完成签到，获得积分10

7秒前; 灿澈发布了新的文献求助10

7秒前; fan的应助被初景采纳，获得10

8秒前; NexusExplorer的应助被wang采纳，获得10

8秒前; angelsister完成签到，获得积分10

8秒前; 科研通AI6.4的应助被任华安采纳，获得10

8秒前; 研友_ndDY5n发布了新的文献求助10

8秒前; 脑洞疼上传了应助文件

9秒前; 研友_VZG7GZ的应助被JosephCobb采纳，获得10

9秒前; 傅煦出发布了新的文献求助10

9秒前; 大个上传了应助文件

9秒前; hxn发布了新的文献求助10

9秒前; 樊书雪关闭了樊书雪的文献求助

10秒前; 斯文败类的应助被奋斗映寒采纳，获得10

11秒前; PJR发布了新的文献求助10

11秒前; kk发布了新的文献求助10

11秒前