A reliability study of DRAM capacitors in chip for beyond 10 nm scaling

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标题	A reliability study of DRAM capacitors in chip for beyond 10 nm scaling
网址	https://doi.org/10.1016/j.mejo.2025.106942
DOI	10.1016/j.mejo.2025.106942 doi
其它	期刊：Microelectronics Journal 作者：Jaeyoung Shin; Kyungwon Park; Hyungtak Kim; Kyung-Woo Lee; Namhyun Lee; et al 出版日期：2025-10-28
求助人	Jazz 在 2026-03-30 17:40:37 发布自湖北，悬赏 10 积分
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