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标题
Influence of Composition of SiCN Film for Surface Activated Bonding
SiCN膜成分对表面活性键合的影响
相关领域
材料科学 化学机械平面化 等离子体增强化学气相沉积 薄脆饼 退火（玻璃） 电介质 表面粗糙度 复合材料 硅 纳米技术 光电子学 图层（电子）
网址
https://doi.org/10.1149/ma2018-02/29/964
DOI
10.1149/ma2018-02/29/964 doi
其它 期刊：Meeting abstracts/Meeting abstracts (Electrochemical Society. CD-ROM)
作者：Fumihiro Inoue; Lan Peng; Serena Iacovo; Alain Phommahaxay; Jakob Visker; et al
出版日期：2018-07-23
求助人
Kevin 在 2025-07-08 07:23:58 发布自北京，悬赏 10 积分
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  • 1年前

    Kevin Kevin Lv3 求助人 发起了本次求助

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