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Electrically active boron doping in the core of Si nanocrystals by planar inductively coupled plasma CVD 平面电感耦合等离子体CVD法在硅纳米晶核中掺杂电活性硼
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期刊:Journal of Applied Physics 作者:Chandralina Patra; Debajyoti Das 出版日期:2019-10-21 |
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