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 Fabrication of SU-8 based Capacitive Micromachined Ultrasonic Transducer for low frequency therapeutic applications 相关领域
电容式微机械超声换能器
电容感应
制作
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传感器
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期刊： 作者：Jose Joseph; Shiv Govind Singh; Siva Rama Krishna Vanjari 出版日期：2015-08-01 |
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