High-Quality Amorphous Silicon Carbide for Hybrid Photonic Integration Deposited at a Low Temperature

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标题	High-Quality Amorphous Silicon Carbide for Hybrid Photonic Integration Deposited at a Low Temperature 相关领域光子学材料科学碳化硅谐振器光电子学非晶硅无定形固体高折射率聚合物硅光子学折射率硅碳化物纳米技术晶体硅复合材料有机化学化学
网址	https://doi.org/10.1021/acsphotonics.3c00968
DOI	10.1021/acsphotonics.3c00968 doi
其它	期刊：ACS Photonics 作者：Bruno Lopez-Rodriguez; Roald van der Kolk; Samarth Aggarwal; Naresh Sharma; Zizheng Li; et al 出版日期：2023-09-21
求助人	danli 在 2026-01-09 18:41:06 发布自中国，悬赏 10 积分
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