Modeling of polarization state change induced by off-axis reflective objectives for beam focusing in spectroscopic ellipsometry

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标题	Modeling of polarization state change induced by off-axis reflective objectives for beam focusing in spectroscopic ellipsometry
网址	https://doi.org/10.1117/12.3025291
DOI	10.1117/12.3025291 doi
其它	期刊：Metrology, Inspection, and Process Control XXXVIII 作者：Tae Dong Kang; Daewon Kwon; Inhee Joh; Myeongrok Oh; Mita Park; et al 出版日期：2024-02-24
求助人	888 在 2026-10-27 15:59:43 发布自河南，悬赏 20 积分
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