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标题
Enhancement of both dielectric and ferroelectric performances in TiN/Al2O3/Hf1-Zr O2/TiO2/TiN -based 3D capacitors
提高Ti/Al 2 O3/Hf 1-ZrO 2/TiO 2/Ti/Ti基3D电容器的介电和铁电性能
相关领域
锡 铁电性 电容器 电介质 材料科学 光电子学 冶金 电气工程 电压 工程类
网址
http://dx.doi.org/10.1016/j.tramat.2025.100068
DOI
10.1016/j.tramat.2025.100068 doi
求助人
gty 在 2025-07-24 15:06:00 发布自贵州，悬赏 10 积分
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