Single sequence phase shifting spectrally resolved interferometry for an in-line thin film thickness measurement using spectral reflectance and phase

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标题	Single sequence phase shifting spectrally resolved interferometry for an in-line thin film thickness measurement using spectral reflectance and phase
网址	https://doi.org/10.1364/AO.439397
DOI	10.1364/AO.439397 doi
其它	期刊：Applied Optics 作者：Yeongchan Cho; Seung Woo Lee; Sin Yong Lee; Garam Choi; Heui Jae Pahk 出版日期：2021
求助人	胖虎不胖在 2026-05-16 17:32:51 发布自美国，悬赏 10 积分
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